[仪器]波面干涉仪

	中文名称：	波面干涉仪
	英文名称：	Laser Phase-shifting Interferometer
	仪器编号：	00811591
	仪器型号：	GPI XP/D
	生产厂家：	美国 Zygo公司
	放置位置：	精密测量实验室D104

功能介绍   

运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形、球面面形、曲率半径等的测量和分析。

主要技术参数

·测量光束直径：φ102mm  反射率： 0.1% - 100%

·平板重复性： 1/300λ（2σ）

·RMS重复性： 1/10,000λ（2σ）

·数据采样： 640×480 像素，8位 可选：1K x 1K像素

·分辨率： >λ/8,000； 条纹分辨率 180条纹

·数据采样时间：低分辨率(7幅数据图像)   93 ms ；高分辨率(13幅数据图像)  173 ms

研究应用成果展示

基于本设备开展的研究工作有：实现无衍射光盾构位姿测量系统中的关键光学元件测试，指导完成该系统光学系统的装配；对角膜样品形貌及其微变形进行精密检测，指导新型角膜微变形测量系统的理论与实验研究；提出了二维高稳定镜架微小角度变化的测量方法，其测量精度高达±0.1μrad，实现了对高稳定镜架的温度稳定性检测。

本设备研究项目支撑情况：973国家重点基础研究发展计划（2007CB714000）全断面大型掘进装备设计制造中的基础科学问题，课题编号（2007CB714005）掘进系统的位姿测量与自动导向；国家自然科学基金项目“一种新型角膜微变形测量系统及关键理论与技术研究”（50975112）

研究成果已应用于高精度薄膜测厚仪，显著提高了仪器测量的稳定性。