[设备]探针台+半导体特性分析平台

	中文名称：	探针台+半导体特性分析平台
	英文名称：	Probe station + Semiconductor Characterization System
	仪器编号：	01214303
	仪器型号：	4200-scs、SUMMIT 1100
	生产厂家：	美国吉时利仪器公司
	放置位置：	柔性电子制造实验室

  功能介绍    

该设备可精密准确测取纳米材料、脉冲信号的电学特性；可开展半导体器件的 C-V、I-V特性分析以及光电器件的检验测试，实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。结合四探针技术可用于碳纳米管，太阳能电池等特性分析，具有广阔的应用前景和一定的社会经济效益。

  主要技术参数 

·电流测量范围：1fA-100mA；电压测量范围：1μV-100V;

·C-V测试模块的指标为：扫描频率：1KHz-10MHz；偏置电压：±30V；频率精度：±0.1%；

·脉冲I-V测试模块的指标为：可同时输出脉冲的通道数：

·系统脉冲发生器频率：10MHz-1Hz；

·系统最小测量带宽：100ns；

·最大脉冲电压：10V P-P；

·电流测量分辨率：1pA；电流噪声：1000pA；

·系统RMS抖动：1ns。

·系统不同模块之间可实现自动切换，且自动切换时探针台内部无需换线

  应用图例