[设备]精密运动机构特性实验平台

	中文名称：	精密运动机构特性实验平台
	英文名称：	Precision Motion Mechanism Characteristic Experiment Platform
	仪器编号：	01506841
	仪器型号：
	生产厂家：	自制
	放置位置：	微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

超精密运动平台有别于传统的精密运动机构，后者多由接触式运动副和刚性结构所组成，摩擦、发热及振动传递等因素制约了这类机构结构的动力学特性，目前这类 机构的运动精度能达到微米级。

技术特点：

1.利用气体润滑理论，建立了气浮气膜的三维力学模型，数值仿真和物理实验结果表明，建模精度较现有的二维模型有较大的提高；

2.采用数值仿真方法，分析了气浮支承中压力腔形状、结构尺寸等结构因素和供气压力、气膜间隙等工艺参数对气旋的影响规律，并通过物理实验方法研究了不同 条件下系统微振动的特性，阐明了气旋是引起系统微振动的主要因素。

  主要技术参数    

·水平向定位精度±0.5μm

·垂向定位精度±0.3μm

·具备气浮轴承支承特性测试功能

  应用范围    

广泛应用于物理、化学、材料学、微电子技术、薄膜技术、冶金学、天文学、生物和医学等方面。