[设备]双频激光干涉测量系统

	中文名称：	双频激光干涉测量系统
	英文名称：	Dual Frequency Laser Interference Measurement System
	仪器编号：	01310127
	仪器型号：	STIF47A1
	生产厂家：	上海微电子装备有限公司
	放置位置：	微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

纳米级运动测量，测量工件台运动过程中的水平三自由度位姿，并实时反馈。

  主要技术参数 

·量程：1mm~10mm

·分辨率：0.15nm

·功能：3轴同步测量

·测量精度：优于10nm

·双轴干涉仪： 左入光 体积<115mm*90mm*42mm

·补偿方式： 波长跟踪器补偿

·数据输出：Ethernet 接口，提供API 程序接口，4 通道位移数据处理，位移数字输出

  应用范围    

广泛应用于机械、物理学、材料学等领域。